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Heading 8486
반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체 디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제11호다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품
Subheading Code |
Detail Code |
Description |
|---|---|---|
| 848610 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer) 제조용 기계와 기기 |
848610 1000 | 스핀 드라이어(원심분리방식으로 한정한다) |
| 848610 2000 | 단결정 보울(boule)을 성장시키는 기계 | |
| 848610 3010 | 단결정 보울(boule)을 얇게 절단하는 기기 | |
| 848610 3020 | 웨이퍼 가공용의 연마기ㆍ광택기(래핑기를 포함한다) | |
| 848610 3090 | 기타 | |
| 848610 4010 | 레이저나 그 밖의 광선ㆍ광자빔 방식에 의한 것 | |
| 848610 4020 | 전기화학ㆍ전자빔ㆍ이온빔이나 플라즈마아크방식에 의한 것 | |
| 848610 5010 | 저항가열식의 노(爐)와 오븐 | |
| 848610 5030 | 그 밖의 노(爐)와 오븐 | |
| 848610 9000 | 기타 | |
| 848620 반도체 디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기 |
848620 1000 | 스핀 드라이어(원심분리방식으로 한정한다) |
| 848620 2100 | 저항가열식의 노(爐)와 오븐 | |
| 848620 2200 | 전자유도식ㆍ유전식 노(爐)와 오븐 | |
| 848620 2300 | 그 밖의 노(爐)와 오븐 | |
| 848620 3000 | 반도체재료 도핑용 이온주입기 | |
| 848620 4000 | 반도체웨이퍼 위에 막을 형성하거나 금속을 증착하는 기계 | |
| 848620 5000 | 굽힘용ㆍ접음용ㆍ교정용ㆍ펼침용 금속가공 공작기계(프레스를 포함한다) | |
| 848620 6010 | 반도체웨이퍼 위에 직접 그리는 기기 | |
| 848620 6020 | 스텝 앤 리피트 얼라이너 | |
| 848620 6091 | 레이저 작동식 기기 | |
| 848620 6099 | 기타 | |
| 848620 7000 | 반도체 웨이퍼를 습식 식각, 현상, 스트리핑하거나 세척하는 기계 | |
| 848620 8100 | 레이저나 그 밖의 광선ㆍ광자빔 방식에 의한 것 | |
| 848620 8410 | 반도체재료의 건식식각 패턴용의 것 | |
| 848620 8420 | 반도체웨이퍼를 스트리핑하거나 세척하는 기기 | |
| 848620 8490 | 기타 | |
| 848620 9100 | 액체나 분말의 분사용ㆍ살포용ㆍ분무용 기기 | |
| 848620 9200 | 포토레지스트를 도포ㆍ현상ㆍ경화시키는 기계 | |
| 848620 9310 | 반도체 웨이퍼가공용의 연마기ㆍ광택기(래핑기를 포함한다) | |
| 848620 9320 | 반도체 웨이퍼의 스크라이빙ㆍ스코어링을 위한 다이싱기 | |
| 848620 9390 | 기타 | |
| 848620 9400 | 웨이퍼ㆍ캐리어ㆍ튜브를 세척하는 기계 | |
| 848620 9500 | 반도체웨이퍼 위에 테이프를 부착시키는 기계 | |
| 848620 9600 | 반도체웨이퍼를 개별 칩으로 절단하는 기기 | |
| 848620 9900 | 기타 | |
| 848630 평판디스플레이 제조용 기계와 기기 |
848630 1010 | 연마기ㆍ광택기 |
| 848630 1020 | 도포 또는 현상기 | |
| 848630 1031 | 물리적 방식의 것 | |
| 848630 1032 | 화학적 방식의 것 | |
| 848630 1040 | 감광성 평판디스플레이용 기판에 회로모형을 투영하거나 드로잉하는 기기 | |
| 848630 1050 | 식각기 | |
| 848630 1060 | 스트리핑하거나 세척하는 기기 | |
| 848630 1090 | 기타 | |
| 848630 2010 | 연마기ㆍ광택기 | |
| 848630 2020 | 도포 또는 현상기 | |
| 848630 2031 | 물리적 방식의 것 | |
| 848630 2032 | 화학적 방식의 것 | |
| 848630 2040 | 감광성 평판디스플레이용기판에 회로모형을 투영하거나 드로잉하는 기기 | |
| 848630 2050 | 식각기 | |
| 848630 2060 | 스트리핑하거나 세척하는 기기 | |
| 848630 2070 | 액정 공정용 기기 | |
| 848630 2090 | 기타 | |
| 848640 이 류의 주 제11호다목에서 특정한 기계와 기기 |
848640 1010 | 패턴형성기(주로 사진 감광액이 도포된 감광판으로부터 마스크와 레티클을 제조하기 위해 사용되는 것) |
| 848640 1020 | 마스크와 레티클을 처리ㆍ수리하기 위한 포커스드 이온빔 밀링기 | |
| 848640 1030 | 포토레지스트를 도포ㆍ현상ㆍ경화시키는 기계 | |
| 848640 1040 | 마스크와 레티클을 식각, 세척, 스트리핑하는 기계와 기기 | |
| 848640 1090 | 기타 | |
| 848640 2010 | 반도체 조립용의 다이 부착기, 테이프자동접착기ㆍ와이어접착기 | |
| 848640 2020 | 반도체 디바이스를 삽입ㆍ제거시키는 기계 | |
| 848640 2031 | 반도체조립용 인캡슐레이션 기기 | |
| 848640 2039 | 기타 | |
| 848640 2040 | 납볼을 반도체 제조용 인쇄회로기판이나 세라믹기판에 탑재하는 기계 | |
| 848640 2070 | 사출식ㆍ압축식의 고무ㆍ플라스틱 성형용 주형 | |
| 848640 2080 | 반도체 다이를 부착하거나 웨이퍼, 캐리어, 튜브를 세척하는 기계 | |
| 848640 2091 | 굽힘용ㆍ접음용ㆍ교정용ㆍ펼침용 금속가공 공작기계(반도체 리드의 것으로서 프레스를 포함하며, 수치제어식의 여부는 상관없다) | |
| 848640 2093 | 웨이퍼의 절단 이전에 전체 웨이퍼에 연결접점(범프)을 형성하는 웨이퍼 범핑용 기기 | |
| 848640 2095 | 저항가열식의 전기식 노(爐)와 오븐 | |
| 848640 2099 | 기타 | |
| 848640 3010 | 반도체 소자 제조용 웨이퍼, 웨이퍼카셋트, 상자나 그 밖의 물품을 이송, 핸들링 그리고 저장하기 위한 것 | |
| 848640 3020 | 평판디스플레이의 권양(捲揚), 취급, 적하(積荷)나 양하(揚荷)용의 것 | |
| 848640 3090 | 기타 | |
| 848690 부분품과 부속품 |
848690 1000 | 보울ㆍ웨이퍼 제조용 기계와 기기의 것 |
| 848690 2030 | 정전식 척(chuck) | |
| 848690 2040 | 도포ㆍ현상ㆍ증착ㆍ식각용 기기의 것 | |
| 848690 2090 | 기타 | |
| 848690 3050 | 유기발광다이오드(오엘이디) 디스플레이 제조용기기의 것 | |
| 848690 3060 | 액정 디스플레이 제조용 기기의 것 | |
| 848690 3090 | 기타 | |
| 848690 4000 | 이 류의 주 제11호다목에서 특정한 기계와 기기의 것 |
